至纯科技：公司暂未涉及4纳米、5纳米的研发

至纯科技(603690)在互动平台表示，公司暂未涉及4纳米、5纳米的研发，国内目前还没有出现有此需求的下游客户，也没有此类设备的相关市场需求。若国内下游客户有此需求，公司会提前跟动研发制造。