南大光电：多款ArF光刻胶产品正在下游客户处验证

南大光电在互动平台表示，公司正在认证的ArF光刻胶主要集中在90nm~28nm工艺节点，目前有多款产品正在下游客户处验证。规模量产时间需要根据客户订单情况确定。公司制备ArF光刻胶的核心原材料由公司自主研发生产。